[9p-PA1-1~28] 6.4 薄膜新材料

[9p-PA1-2] ガラスおよびSi基板上に作製した(001)配向Co_xFe_3-xO₄薄膜のEBSDによる評価

〇安田 敬太¹、西川 雅美¹、石橋 隆幸¹ (1.長岡技大工)

キーワード：コバルトフェライト、(001)配向膜、電子線後方散乱回折法

近年、MgO基板上に作製された(001)コバルトフェライト薄膜は、高い垂直磁気異方性を示すことが報告され注目されている。前回、我々は、有機金属分解(MOD)法によりガラスおよびSi基板上にCo_xFe_3-xO₄薄膜が特定の仮焼成条件で 001配向することを報告した。今回は、作製したCo_xFe_3-xO₄薄膜をEBSDにより評価した結果について報告する。