[9p-PA1-1~28] 6.4 薄膜新材料

[9p-PA1-23] 一酸化スズとリン酸を用いた導電性材料の膜厚による特性の変化

〇松崎 礼依未¹、後藤 英雄¹、田橋 正浩¹、高橋 誠¹ (1.中部大工)

キーワード：一酸化スズ、リン酸

一酸化スズとリン酸からなる混合物を加熱処理した物質は電気伝導性を示し、水素などの還元性ガスに対して電気伝導特性が変化することが明らかにされている。また、炭化水素系ガスに対しても電気伝導特性が変化する事が期待されており、ブタンガスによって電気伝導特性が変化すること、試料の存在によりブタンガス濃度が低下することを確認している。
今回、試料の厚みによる電気伝導特性への影響を明らかにするために、膜厚を変え電気伝導特性を調べたところ、膜厚の厚い試料に電気伝導特性の大きな変化が見られた。