[9p-PA1-1~28] 6.4 薄膜新材料

[9p-PA1-8] 静電加速器での¹⁶O(α,α)¹⁶Oによる薄膜試料酸素の高精度絶対定量

〇(M1)隈元 大輝¹、水野 遊星¹、志田 暁雄¹、鈴木 常生¹ (1.長岡技術科学大学)

キーワード：静電加速器、ラザフォード後方散乱分光法、酸素定量

薄膜技術では酸素含有試料の高精度な組成分析をする必要があるが、X線分析では酸素とクロムなどのエネルギーの重なりが生じて、軽元素の定量性が減少するため、特性X線を利用しないRBS法と共鳴核反応を組み合わせた、酸素の高精度絶対定量分析法を適用した。本報告では上記手法を適用して酸素含有量を求めるための換算計数R_Oを様々な既知酸素含有試料で測定し、通常のRBS法よりも1桁以上酸素の検出感度が向上したので、報告する。