[9p-PA3-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[9p-PA3-1] Si含有DLC膜の局所構造解析（Ⅱ）

〇神田 一浩¹、長谷川 孝行^1,2、赤坂 大樹³ (1.兵庫県立大高度研、2.シンクロトロンアナリシスLLC、3.東京工業大工)

キーワード：Si含有DLC膜、X線吸収微細構造

ニュースバル放射光施設のBL05Aを用いて、組成の異なるSi-DLC膜のSi K端X線吸収微細構造（XAFS）スペクトルを全電子収量法とシリコンドリフト検出器を用いてSi K線の蛍光強度を観測する部分蛍光収量法で測定した。膜内部と表面近傍で組成・構造変化がないことがあきらかとなった。またSiの含有率上昇によって、ホワイトラインピークの半値幅が増加していることが観測された。これはSi原子の局所構造の変化を表している。