[9p-PA3-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[9p-PA3-5] PBF溶液によるDLCへの簡易的なドープ方法の検討

〇(M1C)藤本 桂大¹、大越 康晴¹、平栗 健二¹、矢口 俊之¹、本間 章彦¹ (1.東京電機大学)

キーワード：非晶質炭素膜