[9p-PA3-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[9p-PA3-6] グラファイト状窒化炭素薄膜の合成方法の検討とその性質

〇小林 涼介¹、青山 宏明¹、安田 和史¹、羽渕 仁恵¹ (1.岐阜高専)

キーワード：グラファイト状窒化炭素薄膜、メラミン、グアジニン炭酸塩

本研究ではグアジニン炭酸塩等を原料としてグラファイト状窒化炭素薄膜を合成する方法を検討し、得られた薄膜の結晶構造や電子物性を評価した。原料グアジニン炭酸塩とメラミンを主として薄膜の合成を行った。X線回折では層構造による(002)の回折が観測され極点図の中心に分布する。したがってCNシートは基板に概ね平行には移行していると考えられる。また、光干渉によるフリンジが見られ、光学的に薄膜の平坦性はある。