[9p-PB2-1~12] 3.7 レーザープロセシング

[9p-PB2-7] フェムト秒レーザー誘起表面周期構造が形成されたジルコニアセラミックスの透過電子顕微鏡観察

〇欠端 雅之¹、屋代 英彦¹、大矢根 綾子²、伊藤 敦夫³、鳥塚 健二¹ (1.産総研　電子光技術、2.産総研　ナノ材料、3.産総研　健康工学)

キーワード：フェムト秒レーザー、ジルコニアセラミックス、表面周期構造

これまで、イットリア安定化正方晶ジルコニア多結晶体へのフェムト秒レーザー照射によるレーザー誘起周期的表面構造形成を調べてきた。今回、形成過程の情報取得を目的とし、透過電子顕微鏡による断面形状や結晶粒の状態等の分析を行ったので報告する。