[9p-PB4-1~11] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[9p-PB4-2] シリカガラスのX線誘起光吸収帯強度のX線透過深さ依存性

〇田中 裕規¹、春木 晶尋¹、南保 健斗¹、葛生 伸¹、堀越 秀春² (1.福井大工、2.東ソー・エスジーエム)

キーワード：シリカガラス

シリカガラスに放射線や紫外線を照射すると欠陥構造に起因する吸収帯が誘起される。これまでγ線やX線、ArFエキシマレーザーの誘起光吸収帯を測定してきた。X線はγ線や紫外線の場合と違い、シリカガラスによって部分的に吸収される。そこで、厚さの異なるサンプルを測定し、シリカガラスのX線の透過の様子を調べた。