[9p-S421-1~16] 12.7 医用工学・バイオチップ

[9p-S421-14] 高空間分解能イオンイメージングシステムのセンサー基板の評価

〇柴野 暁¹、川田 善正¹、居波 渉¹ (1.静岡大学工)

キーワード：半導体