[9p-W323-1~17] 8.1 プラズマ生成・診断

[9p-W323-11] 反応性プラズマにおける相互作用揺らぎの時空間構造の周波数依存性

〇鎌滝 晋礼¹、周 靭¹、大友 洋¹、山下 大輔¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹ (1.九大シス情)

キーワード：反応性プラズマ、ナノ粒子、揺動

ナノデバイス創成プラズマプロセスにおけるプラズマとナノ界面の相互作用ゆらぎの抑制が重要課題となっている。そこで、本研究では、プラズマとナノ界面の相互作用を解明するため、反応性プラズマ中のナノ粒子をナノ界面のモデルとして、放電電力に振幅変調を印加することで、プラズマとナノ粒子の相互作用揺らぎの時空間構造を調べたので、本講演で詳細に説明する。