[9p-W631-1~11] 3.7 レーザープロセシング

△ [9p-W631-3] 極端紫外線フェムト秒パルスによる誘電体のレーザー加工

〇(PC)澁谷 達則¹、坂上 和之²、ヂン タンフン³、高橋 孝^1,2、石野 雅彦³、東口 武史⁴、鷲尾 方一⁵、田中 真人¹、小川 博嗣¹、錦野 将元³、小林 洋平²、黒田 隆之助¹ (1.産総研、2.東大、3.量研、4.宇大、5.早大)

キーワード：極端紫外線、フェムト秒レーザー加工、ガラス加工

極端紫外線領域における誘電体のフェムト秒レーザー加工特性を明らかにするため、X線自由電子レーザー施設SACLAの軟X線ビームラインBL1を利用して、シングルショット照射及び60Hzでのマルチショット照射実験を行い、アブレーション閾値及び加工モルフォロジーについて調査した。