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△ [9p-W834-4] GHz 表面弾性波を用いた超音波トモグラフィーによる画像再構成
キーワード:イメージング、逆問題、ポンププローブ法
本研究はポンプ・プローブ法に基づく表面弾性波イメージングに対し、超音波トモグラフィーの解析法を組み合わせ、全体スキャンが不要な試料表面の弾性特性のマッピングを目指すものである。今回、数値計算により1GHzの超音波をもとに直径8 µmの穴に対応する像を得た。本手法については、深さ方向にも画像再構成ができるよう測定系や解析方法を拡張することで、ミクロスケールでの三次元超音波トモグラフィーの開発が期待できる。