15:15 〜 15:30 △ [11p-Z12-11] HドープCZ-Si結晶成長中の点欠陥挙動に関する第一原理解析(3) 〇(M2)楠木 琢也1、末岡 浩治2、杉村 渉3、宝来 正隆3 (1.岡山県立大院情報系工、2.岡山県立大情報工、3.SUMCO)