15:45 〜 16:00 [10p-Z02-10] 全方位フォトルミネッセンス(ODPL)分光法によるGaNウエハの発光量子効率マッピング評価 〇池村 賢一郎1、小島 一信2、秩父 重英2、堀切 文正3 (1.浜松ホトニクス、2.東北大多元研、3.サイオクス)