08:30 〜 08:45 △ [9a-Z13-1] SiC基板上メンブレンレーザにおける接合界面SiO2膜の薄膜化 〇山岡 優1、中尾 亮1、藤井 拓郎1、武田 浩司1、開 達郎1、西 英隆1、硴塚 孝明2、土澤 泰1、松尾 慎治1 (1.NTT先端集積デバイス研、2.早大理工)