13:30 〜 13:45 [10p-Z02-2] 4インチ対応オートクレーブを用いた低圧酸性アモノサーマル(LPAAT)法による バルク GaN 結晶成長 〇栗本 浩平1,2、包 全喜1,2、三川 豊3、冨田 大輔2、嶋 紘平2、小島 一信2、石黒 徹2、秩父 重英2 (1.日本製鋼所、2.東北大多元研、3.三菱ケミカル)