16:15 〜 16:30 △ [11p-Z12-14] 高圧水素プラズマによる極薄ゲッタリング層の形成 〇野村 俊光1、木元 健太1、垣内 弘章1、安武 潔1、大参 宏昌1 (1.阪大大学院工学研究科)