出展者情報
[No.8] イノベーションサイエンス(株)
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住所：〒213-0012 神奈川県川崎市高津区坂戸3-2-1 KSP東棟210
Tel: 044-982-3152
http://www.innovation-science.co.jp/
E-mail: info@innovation-science.co.jp
▼カタログ（資料）をダウンロードはこちらから
TDS-172-2_EQP-Series-Brochure_JSAPTDS 184-6_Thin Films Catalogue_JSAPTDS-201_Mass-Spectrometers-for-Surface-Analysis_JSAPToF-SIMS_JSAPESPION_JSAPHPR-60_JSAPHAL201 RC_JSAP
モデル EQPシリーズ
モデルEQPシステムは、高透過イオンエネルギーアナライザーとトリプルフィルター四重極質量分析計を組み合わせたプラズマ診断ツールです。指定したイオンエネルギー質量スペクトルと、プラズマイオンのイオンエネルギー分布を分析します。中性粒子とラジカルの検出が可能です。電子付着イオン化モードでは、陰性プラズマにおけるラジカル検出機能が搭載されています。負イオンの検出ができるのも当モデルの特徴となっています。ラインアップとして、モデルモデルEQP-6は6mmトリプルフィルター四重極質量分析計で、質量範囲300m/z 又は510m/z を測定します。モデルEQP-9は50m/zからオプションで500m/zの質量範囲を測定する9mmトリプルフィルター質量分析計です。更にモデルEQP-20は20 mmトリプルフィルター四重極を備え、ゾーンI /ゾーンHは20 m/zで切り替え可能で、ピーク幅は0.003 m/z、質量分解能は200 m/zで、水素同位体プラズマの特性を評価することができます。
https://www.hidenanalytical.com/products/thin-films-plasma-and-surface-engineering/eqp-series/"
モデルSIMSシリーズ
SIMSシリーズモデルCOMPACT SIMS
レイヤー構造、表面汚染、不純物キャラクタリゼーションを目的に設計されており、酸素プライマリーイオンビームによる正イオン検出が可能です。イオンソースは、ナノメートルデプス分解能に対応します。
モデルAUTO SIMS
二次イオン質量分析（SIMS）により、無人操作でルーチン分析と反復分析を実行します。自動制御X-Yステージと拡張ホルダーを備え、24時間365日停止せずにプロセス処理します。
モデルSIMS WorkStationシリーズ
モデルFoundation SIMS WorkStationは、メインチャンバーとIG20アルゴン/酸素イオンソース、9 mmポール径MAXIM質量計、マニピュレーター、エレクトロンソースを搭載します。加えて、モデルSIMS WorkStationにはX-Yマニピュレーターとロードロックが追加され、モデルSIMS Workstation Plusは、IG5Cセシウムイオンソース、液体窒素コールドトラップ、酸素フラッドをフル装備します。
https://www.hidenanalytical.com/applications/surface-analysis/sims-surface-analysis-and-snms-surface-analysis/"
モデルTOF-qSIMS WORKSTATION
モデルTOF-qSIMS WORKSTATIONはコンプリートTOF-クワッドSIMSシステムで、スタティック/ダイナミックSIMS分析に加え、イメージ分析処理機能を提供するモデルです。デプスプロファイリング機能も搭載しており、サブppmレベルまでの微量成分を測定することができます。当モデルには、マルチポートUHVチャンバー、TOF-SIMSアナライザー、SIMSアナライザー、IG20ガス一次イオンガン、Csメタルイオンガン、および広範囲サンプルホルダーが搭載されており、高性能SIMS分析アプリケーション用に最適化されています。 高感度SNMSモードでは、冶金薄膜、導電性および非導電性酸化物、その他の合金材料およびコーティングの定量分析が可能です。また、酸素フラッド、電子電荷中和、真空ベークアウトなどのSIMS拡張機能が標準で含まれています。
https://www.hidenanalytical.com/products/surface-analysis/tofq-sims/"
モデルESPion
モデルESPionはラングミュアプローブでプラズマの高速診断を実施する装置です。Orbital Motion Limited（OML）とAllen Boyd Reynolds（ABR）を低圧プラズマ特性評価用の標準プラズマモデルとして採用しています。I-Vプラズマ特性管理により、プラズマの安定性と再現性を確保して分析結果を得られます。また、リアルタイムにプラズマパラメーターを取得することで、特性評価および均一性観察などの詳細情報を得ることができます。内蔵の自動Zドライブは、プラズマボリューム全体の空間分解測定を可能にします。Zドライブの変換オプションは、300、600、900 mmをご用意しています。
https://www.hidenanalytical.com/products/thin-films-plasma-and-surface-engineering/espion/
モデルHPR-60 MBMS
モデルHPR-60分子ビーム質量分析計は、大気圧プラズマと反応性気相中間体分析用のコンパクトなスキマーインレットMSです。ラジカルは、多段差動ポンプ式スキマーインレット(最高三段の差動排気)を介してサンプリングされ、MSイオンソースに転送されます。これにより、測定対象外のガス種との接触は最小限となり、イオン壁衝突もありません。カスタマイズ可能なインレットは、大気圧プラズマを含む異なるリアクターシステムに接続することができます。スキマーシステムは、トリプルフィルター質量分析計と組み合わせて、超高速応答と高精度のサンプリングシステムとなっています。質量数300, 510, 1000m/zオプションをラインアップし、+ve・-ve分析や、APSI-MS ソフトイオナイゼーションモードによるラジカル分析を可能にします。
https://www.hidenanalytical.com/products/gas-analysis/hpr-60-mbms/"
モデル HAL201 RC
しきい値イオン化(ソフトイオン化)質量分析計のモデルHAL 201 RCアナライザーは、4～150eVまでのイオンエネルギーに連続可変または固定し、通常では難しいアンモニアと水の同時測定をソフトイオン化することで、実施することができます。さらに、イオンエネルギーを連続スウィープすることで、中性粒子のしきい値イオンエネルギーも測定可能です。当モデルの標準装備として金メッキのイオンソースが含まれています。 金メッキイオンソースは、アウトガスを最小限に抑える為、全圧が6E-4Pa未満のアプリケーションでご利用頂けます。質量範囲は200m/z(オプションで300m/z)に対応し、検出器にデュアルファラデー/シングルチャネル電子増倍管検出器を搭載しています。
https://www.hidenanalytical.com/products/residual-gas-analysis/hal-201-rc/"
The EQP System for Plasma Characterisation from Hiden Analytical
Tour of the Hiden SIMS Workstation, a UHV Surface Analysis System for thin film depth profiling
住所：〒213-0012 神奈川県川崎市高津区坂戸3-2-1 KSP東棟210
Tel: 044-982-3152
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モデル EQPシリーズ
モデルEQPシステムは、高透過イオンエネルギーアナライザーとトリプルフィルター四重極質量分析計を組み合わせたプラズマ診断ツールです。指定したイオンエネルギー質量スペクトルと、プラズマイオンのイオンエネルギー分布を分析します。中性粒子とラジカルの検出が可能です。電子付着イオン化モードでは、陰性プラズマにおけるラジカル検出機能が搭載されています。負イオンの検出ができるのも当モデルの特徴となっています。ラインアップとして、モデルモデルEQP-6は6mmトリプルフィルター四重極質量分析計で、質量範囲300m/z 又は510m/z を測定します。モデルEQP-9は50m/zからオプションで500m/zの質量範囲を測定する9mmトリプルフィルター質量分析計です。更にモデルEQP-20は20 mmトリプルフィルター四重極を備え、ゾーンI /ゾーンHは20 m/zで切り替え可能で、ピーク幅は0.003 m/z、質量分解能は200 m/zで、水素同位体プラズマの特性を評価することができます。
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モデルSIMSシリーズ
SIMSシリーズモデルCOMPACT SIMS
レイヤー構造、表面汚染、不純物キャラクタリゼーションを目的に設計されており、酸素プライマリーイオンビームによる正イオン検出が可能です。イオンソースは、ナノメートルデプス分解能に対応します。
モデルAUTO SIMS
二次イオン質量分析（SIMS）により、無人操作でルーチン分析と反復分析を実行します。自動制御X-Yステージと拡張ホルダーを備え、24時間365日停止せずにプロセス処理します。
モデルSIMS WorkStationシリーズ
モデルFoundation SIMS WorkStationは、メインチャンバーとIG20アルゴン/酸素イオンソース、9 mmポール径MAXIM質量計、マニピュレーター、エレクトロンソースを搭載します。加えて、モデルSIMS WorkStationにはX-Yマニピュレーターとロードロックが追加され、モデルSIMS Workstation Plusは、IG5Cセシウムイオンソース、液体窒素コールドトラップ、酸素フラッドをフル装備します。
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モデルTOF-qSIMS WORKSTATION
モデルTOF-qSIMS WORKSTATIONはコンプリートTOF-クワッドSIMSシステムで、スタティック/ダイナミックSIMS分析に加え、イメージ分析処理機能を提供するモデルです。デプスプロファイリング機能も搭載しており、サブppmレベルまでの微量成分を測定することができます。当モデルには、マルチポートUHVチャンバー、TOF-SIMSアナライザー、SIMSアナライザー、IG20ガス一次イオンガン、Csメタルイオンガン、および広範囲サンプルホルダーが搭載されており、高性能SIMS分析アプリケーション用に最適化されています。 高感度SNMSモードでは、冶金薄膜、導電性および非導電性酸化物、その他の合金材料およびコーティングの定量分析が可能です。また、酸素フラッド、電子電荷中和、真空ベークアウトなどのSIMS拡張機能が標準で含まれています。
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モデルESPion
モデルESPionはラングミュアプローブでプラズマの高速診断を実施する装置です。Orbital Motion Limited（OML）とAllen Boyd Reynolds（ABR）を低圧プラズマ特性評価用の標準プラズマモデルとして採用しています。I-Vプラズマ特性管理により、プラズマの安定性と再現性を確保して分析結果を得られます。また、リアルタイムにプラズマパラメーターを取得することで、特性評価および均一性観察などの詳細情報を得ることができます。内蔵の自動Zドライブは、プラズマボリューム全体の空間分解測定を可能にします。Zドライブの変換オプションは、300、600、900 mmをご用意しています。
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モデルHPR-60 MBMS
モデルHPR-60分子ビーム質量分析計は、大気圧プラズマと反応性気相中間体分析用のコンパクトなスキマーインレットMSです。ラジカルは、多段差動ポンプ式スキマーインレット(最高三段の差動排気)を介してサンプリングされ、MSイオンソースに転送されます。これにより、測定対象外のガス種との接触は最小限となり、イオン壁衝突もありません。カスタマイズ可能なインレットは、大気圧プラズマを含む異なるリアクターシステムに接続することができます。スキマーシステムは、トリプルフィルター質量分析計と組み合わせて、超高速応答と高精度のサンプリングシステムとなっています。質量数300, 510, 1000m/zオプションをラインアップし、+ve・-ve分析や、APSI-MS ソフトイオナイゼーションモードによるラジカル分析を可能にします。
https://www.hidenanalytical.com/products/gas-analysis/hpr-60-mbms/"
モデル HAL201 RC
しきい値イオン化(ソフトイオン化)質量分析計のモデルHAL 201 RCアナライザーは、4～150eVまでのイオンエネルギーに連続可変または固定し、通常では難しいアンモニアと水の同時測定をソフトイオン化することで、実施することができます。さらに、イオンエネルギーを連続スウィープすることで、中性粒子のしきい値イオンエネルギーも測定可能です。当モデルの標準装備として金メッキのイオンソースが含まれています。 金メッキイオンソースは、アウトガスを最小限に抑える為、全圧が6E-4Pa未満のアプリケーションでご利用頂けます。質量範囲は200m/z(オプションで300m/z)に対応し、検出器にデュアルファラデー/シングルチャネル電子増倍管検出器を搭載しています。
https://www.hidenanalytical.com/products/residual-gas-analysis/hal-201-rc/"
The EQP System for Plasma Characterisation from Hiden Analytical
Tour of the Hiden SIMS Workstation, a UHV Surface Analysis System for thin film depth profiling