[10a-Z03-9~9] 8.7 プラズマエレクトロニクス分科内招待講演

[10a-Z03-9] [分科内招待講演] バーチャルメトロロジー技術を駆使した電子デバイスのスマートマニュファクチャリング

〇今井 伸一¹ (1.日立ハイテクソリューションズ)

キーワード：機械学習, スマートマニュファクチャリング, バーチャルメトロロジー

本講演では電子デバイスの製造データの活用と機械学習の応用について述べ、具体的な事例としてプラズマ中のパーティクル数の予測やVMを活用した先進的プロセス制御（VM-APC）について紹介する。