[10a-Z20-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[10a-Z20-10] フレキシブルデバイス応用に向けた酸化物薄膜の繰り返し曲げ耐久性評価

〇熊谷 敏宏¹、大浦 紀頼¹、和田 英男¹、小山 政俊¹、前元 利彦¹、佐々 誠彦¹ (1.大阪工大 ナノ材研)

キーワード：フレキシブルデバイス, 酸化物薄膜, 曲げ耐久試験

我々はこれまでフレキシブル基板上に酸化亜鉛（ZnO）薄膜を形成し，曲率半径を変化させたときの曲げ耐性評価やアルミニウムを添加した酸化亜鉛（AZO）の低温形成について研究を行ってきた．今回，フレキシブル基板上にバッファ層，ZnOおよびAZO薄膜を形成した様々な異なる積層構造を作製して繰り返し曲げ耐久試験を行い，表面状態の観察とともに抵抗値の変化について詳しく調べたのでそれらの結果について報告する．