[11a-Z01-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[11a-Z01-6] BaとSiの堆積レート比とAs-doped n-BaSi₂膜の光学特性の関係

〇青貫 翔¹、山下 雄大¹、都甲 薫¹、末益 崇¹ (1.筑波大学)

キーワード：光学特性, BaSi2, 欠陥