[11a-Z10-1~10] 13.3 絶縁膜技術

[11a-Z10-1] 溶媒キャスト法を用いたLED素子分離用透明ポリイミド絶縁膜の形成

〇佐藤 滉太¹、尾沼 猛儀¹、山口 智広¹、本田 徹¹ (1.工学院大)

キーワード：マイクロLEDディスプレイ, 層間絶縁膜, 透明ポリイミド膜

液晶ディスプレイは、輝度が低く、太陽光下での視認性が低いため、高輝度なマイクロLEDディスプレイが注目を集めているますが、チップ実装や駆動回路形成などの製造プロセスに多くの技術的課題があるため、マイクロLEDディスプレイ実現に向けて透明ポリイミドを用いたLEDチップの電気絶縁に関して検討を行ったため報告する。