[11a-Z10-1~10] 13.3 絶縁膜技術

[11a-Z10-4] SiO₂, Si₃N₄膜へのアルカリ土類金属・銅族イオンの透過障壁

〇奥 友希¹、戸塚 正裕¹、佐々木 肇¹ (1.三菱電機)

キーワード：耐湿性, 分子軌道計算, イオン効果

SiO₂, Si₃N₄膜へのアルカリ土類金属・銅族イオンを含む各種イオンの透過障壁を分子軌道計算で解析した。その結果、アルカリ金属、アルカリ土類金属・銅族イオンがH₂O分子より透過障壁が小さいことが分かった。これらのイオンが耐湿性に影響することを示唆している。