[11p-Z02-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[11p-Z02-13] 高温アニールAlN上AlGaN成長における超格子構造導入による歪み緩和

〇稲森 崇文¹、石原 頌也¹、白土 達也¹、窪谷 茂幸²、正直 花奈子¹、上杉 謙次郎²、三宅 秀人^1,3 (1.三重大院工、2.三重大地創戦略企、3.三重大院地域イノベ)

キーワード：MOVPE, 歪み緩和, 超格子構造

圧縮歪みの強いAlNテンプレート上に歪み緩和したAlGaN層をMOVPE成長させることを目的として、テンプレートとAlGaN層の間にH₂およびH₂+N₂混合の2種類のキャリアガスを用いてAlN/GaN超格子構造を成長させた。超格子構造の挿入によりどちらのキャリアガスでも歪み緩和を観察できた。また、超格子構造成長時にH₂+N₂混合のキャリアガスを用いることで、H₂キャリアガスを用いて成長した試料と比べ、結晶性が改善され平坦な表面が得られた。