2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[11p-Z04-1~14] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

2020年9月11日(金) 13:00 〜 16:45 Z04

加藤 正史(名工大)

15:45 〜 16:00

[11p-Z04-11] 基板転写DHBTのエピタキシャルウェハ評価

星 拓也1、白鳥 悠太1、杉山 弘樹1、松崎 秀昭1 (1.NTT先端集積デバイス研)

キーワード:ダブルヘテロ接合バイポーラトランジスタ, 基板転写, エピタキシャル成長