[11p-Z04-1~14] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[11p-Z04-11] 基板転写DHBTのエピタキシャルウェハ評価

〇星 拓也¹、白鳥 悠太¹、杉山 弘樹¹、松崎 秀昭¹ (1.NTT先端集積デバイス研)

キーワード：ダブルヘテロ接合バイポーラトランジスタ, 基板転写, エピタキシャル成長