[11p-Z13-1~18] 12.1 作製・構造制御

△ [11p-Z13-5] 分子配向制御による自己組織化エレクトレット型振動発電素子の高出力化

〇(M2)松浦 寛恭¹、石井 久夫^1,2,3、田中 有弥^1,2,4 (1.千葉大院融合理工、2.千葉大先進、3.千葉大MCRC、4.JSTさきがけ)

キーワード：エレクトレット, 自発配向分極, 振動発電素子

我々はAlq₃等の自発配向による分極膜を自己組織型のエレクトレット（SAE）と見立てて，振動発電素子（VEG）に展開し，荷電処理が一切不要な素子を実現した．VEGの出力はσの二乗に比例するため，高い表面電荷密度（σ）の実現がVEGの高出力化につながる．本研究では，SAE作製時の蒸着速度に着目し，蒸着速度を10倍にすることで，σの値を約2.3倍に向上させ，VEGの高出力化に成功した．