[11p-Z23-1~20] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [11p-Z23-15] 透明導電膜のスパッタリング堆積ダメージの評価

〇金井 皓輝¹、西原 達平¹、小椋 厚志^1,2 (1.明治大理工、2.再生可能エネルギー研究インスティテュート)

キーワード：透明導電膜

透明導電膜のスパッタリング堆積条件と結晶シリコンへ与えるダメージの関係について評価を行った。