[11p-Z28-1~12] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

[11p-Z28-12] カーボンナノチューブ導電膜の転写技術の確立

〇(M1)黒松 将¹、小菅 祥平^1,2、渡辺 剛志¹、野々口 斐之³、黄 晋二¹ (1.青学大理工、2.学振特別研究員DC、3.奈良先端大物質)

キーワード：カーボンナノチューブ, 転写, インク

CNT 0.1 wt%、分散剤エチルセルロース 1 wt%、N-メチルピロリドン溶媒のCNTインクを用いたCNT導電膜の作製および転写を行った。転写手順としては、Cu基板上に作製したCNT膜に支持材であるPMMAを塗布し、硝酸鉄 (Ⅲ) 水溶液に浸しCuをエッチングした後にガラス基板上に転写した。TFSAでドーピングを施したCNT膜のシート抵抗は～55 Ω/sq.であった。また、CNT膜のG/D比は18.5であり、転写プロセスによるCNT膜の劣化が生じてないことがわかった。