[8a-Z11-1~10] 12.4 有機EL・トランジスタ

△ [8a-Z11-10] 塗布型・高バリア性PHPS薄膜におけるVUV光焼成プロセスの解明

〇佐々木 樹¹、上村 佳歩¹、吉田 麗娜²、高橋 辰宏¹、硯里 善幸² (1.山形大院有機材料システム、2.山形大INOEL)

キーワード：有機EL, 塗布型バリア膜, フレキシブルデバイス

塗布プロセスで作製できるポリシラザン（PHPS）薄膜は、VUV光焼成で膜表面に緻密層が形成されることでバリア性が著しく向上するため、塗布型TFE封止構造のバリア層として近年期待されている。しかし、VUV光焼成による緻密層の形成プロセスの詳細は未だ明らかになっていない。本講演では、VUV領域における吸収スペクトルやその他種々の測定によりPHPS薄膜表面における緻密化プロセスついて考察する。