2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会

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シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 第3世代異種材料接合と膜成長自在制御:界面ナノ・キベルネテス(舵手)

[8p-Z06-1~9] 第3世代異種材料接合と膜成長自在制御:界面ナノ・キベルネテス(舵手)

2020年9月8日(火) 12:30 〜 16:50 Z06

土屋 哲男(産総研)、山本 哲也(高知工科大)、喜多 隆(神戸大)

14:15 〜 14:30

[8p-Z06-4] 水溶性Sr3Al2O6エピタキシャル薄膜を犠牲層に用いたアナターゼ型Nb: TiO2エピタキシャル薄膜のフレキシブル化

平岡 壮大1、藤原 宏平2、西川 博昭3 (1.近大院生物理工、2.東北大金研、3.近大生物理工)

キーワード:ニオブドープ酸化チタン, パルスレーザ堆積, エピタキシャル薄膜