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△ [8p-Z12-3] CMOSプロセス適合性を持つゾルゲルガラス感応膜を用いたカリウムイオンイメージセンサの製作
キーワード:イオンイメージセンサ, カリウムイオン, ゾル-ゲル
脳は細胞が放出するイオンなどによって制御されており、これらを可視化する技術が脳機能解明に重要である。本研究室では、PVC膜を用いた細胞外のK+濃度分布が観察可能なK+イメージセンサを開発してきた。しかし、PVC膜は生体適合性が低いため、生体適合材料であるゾルゲルガラスを用いたK+感応膜が注目されている。本研究では、センサの微細化に向け成膜条件を検討しK+イメージセンサを作製し、K+感応膜のCMOSプロセス適合性を検証した。