[8p-Z15-1~5] 様々な量子ビームを用いた薄膜の光機能の探究

[8p-Z15-5] 表面に露出していない埋もれた薄膜界面構造の可視化：多面的な量子ビーム計測への期待

〇桜井 健次¹ (1.物材機構)

キーワード：薄膜界面, イメージング, 時間分解測定

薄膜・多層膜の機能は、その層構造、界面構造に左右されることが多く、そのため薄膜の構造を調べるための技術開発は活発に行われてきている。表面に露出していない、埋もれた構造は特に重要である。最近では、シンクロトロン放射光やX線自由電子レーザーを中心に、量子ビーム技術を利用し、さまざまなタイプの分光および回折・散乱の計測が活発に行われるようになってきた。今後は、2次元または3次元のイメージングや、その時間的な構造の変化をもひとまとめにして機能を理解したいとする潮流がいっそう強まりそうである。