[8p-Z26-1~23] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[8p-Z26-1] Cuナノ粒子を含有するGe薄膜におけるナノスケール液滴による結晶化

〇原 明人¹、鈴木 仁志¹、北原 邦紀² (1.東北学院大工、2.島根大総合理工)

キーワード：ゲルマニウム, その場観察TEM, 銅

その場観察TEMを利用してCuナノ粒子を含有するGe薄膜の結晶化プロセスを観察した結果について報告する。