[9a-Z01-1~6] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

[9a-Z01-4] ZnSe系有機-無機ハイブリッド型紫外APDの集積化

〇藤井 祐太¹、市川 悠喜¹、中村 海輝¹、中川 和樹¹、吉田 健太郎¹、宮崎 竜一¹、辻 裕哉¹、山本 隼平¹、阿部 友紀¹、市野 邦男¹、赤岩 和明¹ (1.鳥取大)

キーワード：ZnSe, 紫外アバランシェフォトダイオード, 有機-無機ハイブリッド構造

本研究では，ZnSe系有機-無機ハイブリッド構造アバランシェフォトダイオードの集積化プロセスの開発を行った．GaAs基板上にZnSe系無機層をMBE成長した後，フォトリソグラフィによりPEDOT:PSS有機窓層を形成した．デバイス表面にSU-8絶縁層を設け，ボンディングパッド付きのAu/Ti外部電極を形成し，集積型デバイスを作製した．