[9a-Z05-1~8] 6.4 薄膜新材料

[9a-Z05-5] Layer-by-Layer法により作製したZn系半導体ナノ粒子膜の光学特性

〇(M2)木野 大地¹、成田 裕紀¹、金 大貴²、沈 用球¹ (1.Osaka Pre. Univ.、2.Osaka City Univ.)

キーワード：半導体ナノ粒子, 屈折率, 光学薄膜

バルクとは異なる物性を持つ半導体ナノ粒子(NP：直径数nm)は、その種類、サイズ、組合せ、配列により光学定数制御が可能であることに加え、光散乱が小さいことや曲面への塗布も可能なことから新しい光学薄膜用素材としての応用が期待できる。本研究では、粒径が異なるZnSeナノ粒子(ZnSe -NP)、ZnSナノ粒子(ZnS-NP)を用いて、光学薄膜形成に必要となる波長オーダーの膜厚を有する多積層膜を作製し、光学定数や膜厚、膜質を評価することで、半導体ナノ粒子積層膜の光学薄膜への応用可能性を調べた。