[9a-Z05-1~8] 6.4 薄膜新材料

[9a-Z05-6] スピノーダル分解したTiO₂-VO₂系膜における格子歪とラメラ周期の関係

〇村岡 祐治¹、福田 貴優²、脇田 高徳¹、横谷 尚睦¹、竹元 嘉利² (1.岡山大学基礎研、2.岡山大学院自然科学)

キーワード：スピノーダル分解, 格子歪, ラメラ周期

ルチル型TiO₂-VO₂ /TiO₂(100)膜のスピノーダル分解において、c軸方向の格子歪とラメラ周期の関係を調べた。実験では、パルスレーザー堆積法(PLD)を用いて、Ti_0.2V_0.8O₂固溶体(TVO)膜をTiO₂(100)基板上に作製した。基板温度は 673 K、酸素分圧を 1 Pa であった。作製した膜厚は、20-150 nmである。膜のc軸長の残留歪は、膜厚40-150 nmの膜で0.1%、膜厚40 nm以下になると増大し、20 nmで0.2%となった。発表では、TVO 膜の c 軸長の残留歪みの大きさとスピノーダル分解によるラメラ周期の関係について紹介する。