[9a-Z12-1~11] 12.7 医用工学・バイオチップ

[9a-Z12-5] Fan-Out Wafer-Level Packagingによるフレキシブル経爪脈波センサの集積化

〇小田島 輩¹、煤孫 祐樹¹、銭 正阳¹、高橋 則之²、永田 柊太¹、木野 久志³、田中 徹^1,2、福島 誉史^1,2 (1.東北大院工、2.東北大院医工、3.東北大学際研)

キーワード：フレキシブル・ハイブリッド・エレクトロニクス