[9a-Z29-1~14] 17.2 グラフェン

[9a-Z29-9] [（再講演）第4回薄膜・表面物理分科会論文賞受賞記念講演] ロックイン赤外線発熱解析法による大面積グラフェンの構造イメージング

〇中島 秀朗¹、森本 崇宏¹、沖川 侑揮¹、生田 美植¹、山田 貴壽¹、河原 憲治²、吾郷 浩樹²、岡崎 俊也¹ (1.産総研、2.九大GIC)

キーワード：グラフェン, 欠陥評価, ロックインサーモグラフィ

グラフェンは様々な応用が期待され、CVD法による大面積合成が進められている。しかしCVD膜では、様々な欠陥構造が形成され、膜の電気伝導特性が大きく低減する。これまで探針プローブでの欠陥評価が検討されているが、狭い計測範囲に限られ、大面積膜での評価が課題であった。本研究は、ロックイン赤外線発熱解析法に基づく計測法によって、大面積CVDグラフェンの欠陥構造を高速・高精度にイメージング評価することに初めて成功した。