[9p-Z01-1~18] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

[9p-Z01-2] 高濃度BeドープGaAsNのフォトルミネッセンス特性

〇藤本 卓雅¹、塚崎 貴司¹、椎野 直樹¹、藤田 実樹²、牧本 俊樹¹ (1.早大理工、2.一関高専)

キーワード：GaAsN, フォトルミネッセンス, 高濃度ドープ