2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[9p-Z12-1~19] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2020年9月9日(水) 13:00 〜 18:00 Z12

澤野 憲太郎(都市大)、都甲 薫(筑波大)

13:00 〜 13:15

[9p-Z12-1] 電子線照射下におけるアモルファスGeSnの融液媒介結晶化

本村 凌1、稲永 航平1、石丸 学1、仲村 龍介2、保田 英洋3 (1.九州工大工、2.大阪府立大工、3.大阪大超高圧電顕)

キーワード:GeSn, 透過電子顕微鏡

本研究では、アモルファスGeSnの電子線誘起結晶化過程の電子顕微鏡「その場」観察を行い、大粒径のGeSn多結晶の作製を試みた。23 at.%Sn試料に、臨界fluxより十分に大きい値で照射すると、結晶化領域の外側では、数µmを超える粗大結晶粒が形成していた。また、結晶化プロセスを動画で撮影した結果、Snが過冷却液体として存在し、それを介して結晶化が進行することが示唆された。