[9p-Z18-1~21] 3.7 レーザープロセシング

△ [9p-Z18-2] グリオキシル酸Cu/Ni混合錯体のフェムト秒レーザ還元を用いて作製したCu-Ni合金パターンの熱電特性

〇(B)林 智英¹、大石 知司²、溝尻 瑞枝¹ (1.長岡技科大、2.芝浦工大)

キーワード：フェムト秒レーザ直接描画, 還元, Cu-Ni合金

グリオキシル酸Cu/Ni混合錯体のフェムト秒レーザ熱還元を利用してCu-Niパターンを描画し，その熱電特性を評価した．調製した溶液はフェムト秒レーザ波長515 nmで高い透過率を有し，その半波長以下で大きな吸収を示した．描画により作製された微細パターンのXRDスペクトルはCu-Ni合金の回折ピークを示した．Cu-NiパターンはCu-Ni合金と同様にn型熱電特性を有することを明らかにした．