[9p-Z21-1~10] 8.3 プラズマナノテクノロジー

△ [9p-Z21-10] Heプラズマスパッタリング法によるGe系薄膜堆積とLiイオン電池への応用

〇(M1)永井 健太¹、羽生 侑真¹、林 純希¹、内田 儀一郎^1,2 (1.名城大理工、2.名城大エネセンター)

キーワード：プラズマ, リチウムイオン電池, ナノ粒子