[9p-Z22-1~10] 1.1 応用物理一般・学際領域

[9p-Z22-8] 電界駆動型流体制御技術の検討

〇森朝 崇文¹、草野 雄一¹、志柿 雅彦¹、川田 秋一¹、髙田 隆裕¹ (1.村田製作所)

キーワード：流体, 電気化学

電気浸透流は、液体の流動を低電界で誘起でき、電界駆動のため無脈動という利点も有すると考えられる。今回、電気浸透流デバイスを作製し、低電界での液体流動誘起現象の詳細を調査した。12V印加時の発生流量は、約100µL/minで時間変動は見られず、脈動は確認されなかった。また、電圧と流量の間に比例関係が存在し、4V印加時の発生流量は12µL/minであった。電気浸透流現象により、脈動のない液体の流動を低電界で誘起可能なことが確認された。