13:30 〜 14:00 [12p-A307-1] STEM/3DAPによるMg注入GaN層のナノ組織解析 〇大久保 忠勝1、Ashutosh Kumar1、埋橋 淳1、田中 亮2、高島 信也2、江戸 雅晴2、宝野 和博1 (1.物材機構、2.富士電機)