16:00 〜 18:00 [12p-PA5-6] 低ダメージスパッタ法で堆積したITO上部電極膜有するトップエミッション型OLED素子の熱処理に関する検討 〇安田 洋司1、小林 信一1、内田 孝幸1、星 陽一1 (1.東京工芸大工)