09:15 〜 09:30 [13a-A305-2] 表面弾性波を用いた高精度量子電流源実現に向けたSplit-52型IDTの評価 〇(M1)太田 俊輔1,2、高田 真太郎2、中村 秀司2、岡崎 雄馬2、金子 晋久2、小寺 哲夫1 (1.東工大、2.産総研)