14:00 〜 14:15 [13p-A408-4] 溶液プロセスによるバイオセンサ用TFTアレイのリーク特性の改善 〇栗谷川 翔1、Phan Trong Tue2、廣瀬 大亮1、下田 達也1、高村 禅1 (1.北陸先端大、2.東工大)