11:30 〜 11:45 [14a-A302-10] DERI法によるInN成長膜厚の原子層レベルでの制御に向けた成長過程の検討 〇(M1)後藤 直樹1、荒木 努1、毛利 真一郎1、名西 憓之1 (1.立命館大理工)