09:30 〜 11:30 [15a-PB4-3] 電子線蒸着a-Si膜へのフラッシュランプアニールで形成したpoly-Si膜を用いたテストセルの作製 〇家後 和美1、Trinh Cham Thi2、Amkreutz Daniel2、Huynh Thi Cam Tu1、大平 圭介1 (1.北陸先端大、2.HZB)