10:15 〜 10:30 [15a-D311-6] ペロブスカイト型タンタル酸カルシウム薄膜の作製と評価 〇川口 昂彦1、杉田 真由子1、青島 楓汰1、坂元 尚紀1、鈴木 久男1、脇谷 尚樹1 (1.静大工)